| ZHKDY-1型四探針電阻率測試儀是我公司嚴格按照硅片電阻率測量的標準（ASTM F84）及標準設計制造，并針對目前常用的四探針電阻率測試儀存在的問題加以改進。整套儀器有如下特點 1、配有雙數字表：一塊數字表在測量顯示硅片電阻率的同時，另一塊數字表（以**之幾的精度）適時監測過程中的電流變化，使操作*簡便，測量*。 數字電壓表量程：0—199.99mV 靈敏度：10μV 輸入阻抗：1000ΜΩ 基本誤差±(0.04-0.05%讀數+0.01%滿度) 2、可測電阻率范圍：10—4 —1.9×104Ω·cm。 可測方塊電阻范圍：10—3 —1.9×105Ω/□。 3、設有電壓表自動復零功能，當四探針頭1、4探針間未有測量電流流過時，電壓表指零，**1、4探針接觸到硅片，測量電流渡過單晶時，電壓表才指示2、3探針間的電壓（即電阻率）值，避免空間雜散電波對測量的干擾。 4、流經硅片的測量電流由高度穩定（**之五精度）的**恒流源提供，不受氣候條件的影響，整機測量精度＜3%。 電流量程分五檔：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。 5、儀器采用觸點電阻*低（＜5mΩ）、使用壽命*長的轉換開頭及繼電器（＞10**），在*緣電阻、電流容量方面留有*大的系數，提高了測試儀的性和使用壽命。 6、可加配HQ-710E微處理機及打印機，實現自動換向測量、求平均值，計算并打印電阻率值、值、百分變化率、平均百分變化率等內容。 7、可加配電腦，使用軟件進行數據采集,實現自動換向測量、存儲,求平均值，值、值、百分變化率、平均百分變化率等內容。 8、可配KDDJ-2電動測試架，自動上下運行，使測量*方便快捷。 9、四探針頭采用上的紅寶石軸套導向結構，使探針的游移率減小，測量重復性提高（****局已于2005.02.02授予權，號：ZL03274755.1）。 |